Параметр | Единицы измерения | Значение |
Метод выращивания | VGF, LEC | |
Диаметры пластин | мм | 50.8, 76, 100, 125*, 150, 200 |
Толщины | мкм | 250, 350, 400, 450, 625, 675 |
Тип проводимости/легирующая примесь |
n / Si, Te, C
p / Zn n / нелегированный |
|
Удельное сопротивление | Ом×см | Полуизолирующий >1×105 |
Полупроводящий >1×10-3 | ||
Концентрация носителей | см-3 | p 1×1017 ÷ 5×1019 |
n 1×1016 ÷ 4×1018 | ||
Ориентация | (100), (110), (111) | |
Плотность дислокаций (EPD) | см-2 | Минимальная <100 (VGF, полупроводящий) |
Средняя 1000-10000 |
||
Максимальная от 10000 до 10000 |
||
Срезы, выемки | По стандартам SEMI или EJ, либо по спецификации заказчика | |
TTV |
мкм | 3 −10 |
Подвижность носителей | см2В-1с-1 |
Полуизолирующий 2000<µ<6000, >6000* |
Полупроводящий n: 1-2,5×103, p: |
||
Лицевая сторона | Зеркальная, полированная | |
Обработка обратной стороны | Шлифованная, шлифовано-травленная, полированная | |
Отклонение направления среза от заданной кристаллографической ориентации | град. | ±0,5 |
Отклонение поверхности от заданной кристаллографической ориентации | град. | ±0,1 |
Пластины КНИ упакованы в стандартные контейнеры по 25 пластин. Пластины с малой толщиной могут быть упакованы в индивидуальные контейнеры. Все контейнеры упаковываются производителями в чистых помещениях класса не хуже ISO 5 и помещаются в металлизированный пакет, обеспечивающий защиту от влаги и вредных газов, содержащихся в атмосфере.
Срок годности пластин неограничен при условии хранения в инертной среде. Пластины хранятся в специальных шкафах, наполненных азотом и при пониженной влажности воздуха. Транспортировка пластин осуществляется согласно правилам перевозки хрупких грузов.