17uventa@mail.ru +7 (499) 322-02-44

Дисилицид титана

ТУ 6-09-03-406-75

Дисилицид титана (силицид титана) — это химическое соединение титана с кремнием, с массовой долей кремния 53,98%. Имеет вид порошка серого цвета с металлическим отблеском.

Физические свойства

Дисилицид титана имеет две модификации низкотемпературную (C49) и высокотемпературную (C54).

  • Низкотемпературная модификация имеет ромбическую базоцентрированную решетку со следующими периодами: а = 0,362 нм, b = 1,376 нм, c = 0,360 нм.
  • Высокотемпературная модификация имеет ромбическую гранецентрированную решетку со следующими периодами: а = 0,8279 нм, b = 0,4819 нм, c = 0,8568 нм..
Данное соединение переходит из одной формы в другую при температуре 650 °C.

  • Показатель изменения объема вещества при изменении температуры на 1 K равняется 12,5•10−6 1/K.
  • Удельное электрическое сопротивление 60-70 мкОм•см для первой модификации и 12-20 мкОм•см для второй.
  • Модуль Юнга равен 259 ГПа.

Химические свойства

  • Устойчив к воздействию, азотной, серной, соляной, щавелевой кислот.
  • Не растворим в водной среде и щелочных растворах.
  • Слаборастворима в царской водке.
  • Хорошо растворим в плавиковой кислоте и растворах фтористого аммония.

Соответствие стандартам

Полностью соответствует ТУ 6-09-03-406-75. Содержание веществ:

Наименование показателей Норма по ТУ
Массовая доля содержания титана, %, не менее 45,0
Массовая доля содержания кремния, %, не менее 52,0
Массовая доля содержания железа, %, не более 0,05

Область применения

Используется в производстве интегральных схем в качестве контактов между полупроводниковым устройством и структурой, поддерживающей межсоединения.

Как заказать

Чтобы заказать дисилицид титана, свяжитесь с нами по телефону или заполните соответствующую форму на сайте.

Возникли вопросы?


Мой любимый профиль